人工智能与自动化学院朱亚辉老师在计算机应用与光学精密检测领域取得重要进展，相关成果以“Multidirectional lateral shearing random-step instantaneous phase-shifting interferometry for aspherical measurement”为题，发表于期刊《Applied Optics》。我院朱亚辉老师为论文第一作者。此外，我院顾阳老师、我校计算机与网络安全学院蒋兵兵老师、徐睿老师对该工作同样做出了重要贡献。

本文针对传统横向剪切干涉仅能采集正交方向波前数据、陡度非球面测量精度不足的痛点，提出多向横向剪切随机步长瞬时相移干涉法，将相移技术与多方向剪切架构融合，搭建对应实验系统。分别对4μm、10μm非球面度反射镜完成实测，与LUPHOSscan轮廓仪数据比对，该系统RMS相对误差表现优异，相较传统四波横向剪切干涉，测量误差分别降低27.06%、32.05%。实验验证该方法可有效提升大偏离量非球面的检测精度，为高精度非球面面形检测提供了新的可行方案。

图1.用于非球面测量的多方向横向剪切随机步瞬时相位偏移干涉图像获取

该工作得到淮安市重点研发计划、江苏省高校自然科学基金、江苏省产学研合作等项目资助。

论文信息：

Multidirectional lateral shearing random-step instantaneous phase-shifting interferometry for aspherical measurement

Yahui Zhu^*, Bingbing Jiang, Yang Gu, Rui Xu

原文链接：

https://doi.org/10.1364/AO.585648