我院朱亚辉老师在计算机应用与光学精密检测领域取得重要进展，相关成果以“Aspherical Surface Measurement With Multi-Directional Lateral Shearing Phase-Shifting Interferometry”为题，发表于期刊《IEEE Photonics Journal》。我院朱亚辉老师为论文第一作者。此外，西安工业大学光电工程学院田爱玲教授、王红军教授、刘丙才教授对该工作同样做出了重要贡献。

本文针对传统横向剪切干涉仅能获取正交方向两组波前数据、相位重建采样点少、精度不足的问题，提出基于双折射晶体的多向横向剪切相移非球面测量方法。该方法通过多向剪切、同步相移与偏振阵列调制，采集多方向剪切波前数据求解波前系数，抑制相移非线性误差与环境干扰，降低系统随机误差。搭建实验系统完成口径90mm非球面镜实测，结果与ZYGO干涉仪自准直法吻合，重复测量RMS偏差优于λ/100，验证了该系统在非球面检测中的有效性与稳定性。

图1.用于多向横向剪切相移干涉法测量非球面表面检测方法

该工作得到国家自然基金、淮安市重点研发计划、江苏省高校自然科学基金、江苏省产学研合作等项目自助。

论文信息：

Aspherical Surface Measurement With Multi-Directional Lateral Shearing Phase-Shifting Interferometry

Yahui Zhu^*, Ailing Tian, Hongjun Wang, Bingcai Liu

原文链接：

https://doi.org/10.1109/JPHOT.2025.3606696